賽默飛已設(shè)計(jì)生產(chǎn)了特定大小的微粒用來(lái)校準(zhǔn)用于半導(dǎo)體工業(yè)的掃描表面監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(SISS)。
通過(guò)與儀器生產(chǎn)商合作,研發(fā)生產(chǎn)出Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干)系列產(chǎn)品以滿足SEMI 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)則要求。可提供的微粒尺寸包括半導(dǎo)體國(guó)際技術(shù)藍(lán)圖 (ITRS)1定義的關(guān)鍵的尺寸節(jié)點(diǎn)的大小。
使用賽默飛Surf-Cal微粒尺寸標(biāo)準(zhǔn)品(干),粒度標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)化校準(zhǔn)晶片的制備,用于掃描表面檢測(cè)系統(tǒng)(SSIS)的校準(zhǔn)和維護(hù)。可用的粒徑對(duì)應(yīng)于儀器制造商要求的校準(zhǔn)點(diǎn)尺寸。
特點(diǎn):
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